Test sui wafer

Basato sugli oltre 15 anni di esperienza di Deaote nella produzione di stampi di precisione e componenti in movimento, il test dei wafer presenta una base rigida in granito, una struttura termicamente stabilizzata e un design antivibrante per garantire prestazioni costanti in ambienti cleanroom (Classe 100/1000). Supporta un'integrazione perfetta con sonde per wafer, microscopi ottici, sistemi ATE (Automatic Test Equipment) e strumenti di acquisizione dati, rendendolo ideale sia per ricerca e sviluppo che per test di produzione in grandi volumi di chip logici, dispositivi di memoria, semiconduttori di potenza e semiconduttori composti (GaAs, SiC, GaN).

Il design modulare del test sui wafer consente la personalizzazione completa degli intervalli di corsa, dei parametri di velocità/accelerazione e delle interfacce di controllo (GPIB, USB, Ethernet) per adattarsi a flussi di lavoro specifici di test dei wafer. La nostra soluzione consente ai produttori di semiconduttori di ottenere una maggiore precisione dei test, ridurre i tassi di falsi guasti e migliorare la produttività, aspetto fondamentale per soddisfare le esigenze di miniaturizzazione e prestazioni dei dispositivi a semiconduttori di prossima generazione.

Vantaggi fondamentali

1. Precisione di allineamento a 4 assi inferiore al micron

Dotata di encoder lineari ad alta risoluzione (risoluzione 0,05μm) e motori torque ad azionamento diretto per l'asse Theta, la piattaforma raggiunge una precisione di posizionamento ripetibile di ±0,5μm (X/Y), una precisione assoluta di ±1μm (X/Y), una precisione di posizionamento dell'asse Z di ±2μm e una precisione angolare dell'asse Theta di 0,001°. Ciò garantisce un allineamento preciso tra le matrici del wafer e le sonde di test/l'ottica di ispezione, eliminando gli errori indotti dal disallineamento nella caratterizzazione elettrica e nell'ispezione ottica.

2. Controllo del movimento stabile e ad alta velocità

Gli algoritmi di controllo del movimento ottimizzati e le guide con cuscinetti ad aria consentono movimenti ad alta velocità (velocità massima X/Y: 150 mm/s, velocità massima dell'asse Z: 50 mm/s) con tempi di assestamento estremamente bassi (≤30 ms per X/Y, ≤50 ms per Z). Il meccanismo di azionamento senza contatto elimina l'usura meccanica e il gioco, garantendo una stabilità di movimento costante per milioni di cicli, essenziale per i test sui wafer ad alta produttività (fino a 2500 matrici all'ora).

3. Design termicamente stabile e antivibrante

Costruita con una base in granito naturale (coefficiente di dilatazione termica ≤0,5×10⁻⁶/℃) e un sistema di isolamento antivibrante attivo, la piattaforma riduce al minimo la deriva posizionale causata dalle fluttuazioni di temperatura (≤0,1μm/℃) e dalle vibrazioni esterne. L'asse Z è dotato di una vite a ricircolo di sfere di precisione con compensazione del precarico per mantenere la stabilità durante il posizionamento verticale, fondamentale per il controllo della forza di contatto della sonda (da 0,1 ga 100 g) nei test sui wafer.

4. Ampia compatibilità e flessibilità dei wafer

Il test sui wafer supporta dimensioni di wafer da 4 pollici a 12 pollici con mandrini a vuoto regolabili e meccanismi di centraggio automatico, senza necessità di sostituzione di dispositivi personalizzati. Può ospitare spessori di wafer da 50μm a 800μm ed è compatibile con wafer nudi, wafer modellati e pacchetti a livello di wafer (WLP), adattandosi alle diverse esigenze di test dei semiconduttori (test parametrici CC, test RF, ispezione ottica).

5. Compatibile con camere bianche e bassa manutenzione

Progettato per il funzionamento in camera bianca di Classe 100, il test sui wafer è dotato di un involucro sigillato con filtraggio HEPA per prevenire la contaminazione da particelle dei wafer e delle apparecchiature di test. Il grado di protezione IP54 e i componenti dei cuscinetti d'aria esenti da lubrificazione riducono i requisiti di manutenzione, estendendo l'MTBF (tempo medio tra guasti) a ≥ 35.000 ore in condizioni operative standard.

6. Integrazione e personalizzazione facili

Compatibile con software di controllo e protocolli di comunicazione standard del settore (GPIB, RS232, Ethernet/IP), la piattaforma si integra perfettamente con i sistemi di test wafer esistenti. Suzhou Deoute offre la personalizzazione completa delle gamme di corsa (X/Y: da 100×100 mm a 300×300 mm; Z: da 50 mm a 150 mm), gamma di rotazione dell'asse Theta (da ±5° a ±10°) e controllo della temperatura del mandrino (da -40 ℃ a 200 ℃) per soddisfare le esigenze specifiche dei clienti.

Specifiche tecniche

Scenari applicativi

Progettata per il test e l'ispezione dei wafer a 4 assi, la nostra piattaforma XYZT è ampiamente utilizzata nelle seguenti applicazioni di semiconduttori:

● Wafer Probing: caratterizzazione elettrica (DC/AC/RF) di chip logici, dispositivi di memoria DRAM/NAND e semiconduttori di potenza (MOSFET, IGBT)

● Ispezione ottica: rilevamento di difetti a livello di wafer, allineamento dei modelli e metrologia per la produzione avanzata di semiconduttori

● Test di affidabilità: cicli ad alta/bassa temperatura, test di burn-in e caratterizzazione della durata dei semiconduttori composti (GaAs, SiC, GaN)

● Packaging a livello di wafer (WLP): allineamento e collegamento di package a livello di wafer per l'elettronica di consumo e le applicazioni automobilistiche

● Test di ricerca e sviluppo: prototipazione e validazione di nuovi progetti di semiconduttori in ambienti di laboratorio (personalizzabile per test su piccoli lotti)

A proposito di Deaote

Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. è un'impresa high-tech leader specializzata in ricerca e sviluppo, produzione e vendita di piattaforme di movimento di precisione, stampi personalizzati e componenti di test per semiconduttori. Con oltre 15 anni di esperienza nella produzione di precisione, serviamo clienti globali nei settori dei semiconduttori, dell'elettronica e dell'automazione industriale in Europa, Nord America, Asia e oltre.

La nostra piattaforma di movimento di ispezione XYZT sfrutta le nostre competenze chiave nella progettazione di stampi di precisione e nell'ingegneria del controllo del movimento per affrontare le sfide uniche dei test sui wafer semiconduttori. Forniamo soluzioni end-to-end, dalla progettazione e prototipazione di piattaforme personalizzate all'installazione in loco, calibrazione e supporto tecnico a vita, garantendo che i nostri prodotti soddisfino i più severi standard di settore in termini di precisione e affidabilità.

Impegnata nel principio "La precisione guida il progresso, l'innovazione crea valore", Deaote è certificata ISO 9001:2015 e investe il 15% del fatturato annuo in ricerca e sviluppo per sviluppare soluzioni di movimento di prossima generazione per l'industria dei semiconduttori. La nostra rete di assistenza globale garantisce tempi di risposta rapidi e supporto locale per i nostri clienti internazionali.