Modulo motore lineare in marmo a doppio asse

Costruito su una base di granito di grado 00 (selezionato per il suo basso coefficiente di espansione termica e le proprietà di smorzamento delle vibrazioni), questo modulo motore lineare in marmo a doppio asse integra due assi motore lineare ad alte prestazioni con guide con cuscinetti ad aria per fornire una precisione di ripetizione di ± 0,5 μm, ideale per litografia di semiconduttori, microlavorazione laser, ispezione ottica e sistemi di metrologia di precisione.

Progettato per risolvere i limiti degli stadi a doppio asse basati su alluminio o acciaio (deriva termica, vibrazioni, bassa rigidità), il nostro modulo motore lineare in marmo a doppio asse elimina la deformazione meccanica durante il movimento ad alta velocità (fino a 2 m/s per asse) e mantiene una precisione costante a tutte le temperature di esercizio (da -10 ℃ a 40 ℃). Il sistema di controllo sincrono dell'asse X-Y (basato su EtherCAT) consente la sincronizzazione del movimento a livello nanometrico, fondamentale per processi di ultra precisione come il confezionamento di chip da 7 nm, la fabbricazione di componenti microottici e la misurazione 3D avanzata.

Prodotto secondo gli standard di qualità ottica ISO 9001:2015 e ISO 10110, il modulo motore lineare in marmo a doppio asse è dotato di un sistema di gestione dei cavi sigillato, rivestimento antistatico e opzioni compatibili con il vuoto (per l'uso in camere bianche con semiconduttori). Compatibile con i controller di movimento leader del settore (Aerotech, PI, Newport) e i sistemi metrologici (interferometri laser Renishaw), si integra perfettamente nelle linee di produzione ad altissima precisione, migliorando la resa del processo fino al 20% rispetto ai tradizionali stadi a doppio asse con base metallica.

Serie di prodotti

Serie DT-GM-DX1 (precisione compatta)

Intervallo di corsa X-Y: da 100×100 mm a 500×500 mm, precisione di ripetizione ±0,5μm, velocità massima 1 m/s per asse. Ideale per la lavorazione di componenti micro-ottici, metrologia di precisione, confezionamento di semiconduttori di piccolo formato.

Serie DT-GM-DX2 (velocità media)

Intervallo di corsa X-Y: da 500×500 mm a 1.000×1.000 mm, precisione di ripetizione ±1 μm, velocità massima per asse 2 m/s. Adatto per microlavorazioni laser, riparazione di pannelli LCD, ispezione ottica di medio formato.

Serie DT-GM-DX-VAC (compatibile con il vuoto)

Intervallo di corsa X-Y: da 100×100 mm a 800×800 mm, precisione di ripetizione ±0,5μm, valore di vuoto 10⁻⁶ mbar. Progettato per applicazioni in camere bianche di semiconduttori, rivestimento sotto vuoto e sistemi di simulazione spaziale.

Vantaggi fondamentali

1. Base in granito di grado 00 per una stabilità senza pari

Realizzata in granito naturale di grado 00 (coefficiente di dilatazione termica ≤0,5×10⁻⁶/℃), la base offre eccezionale stabilità termica (≤0,001 mm/℃) e smorzamento delle vibrazioni (attenua l'80% delle vibrazioni ad alta frequenza). Ciò elimina la deriva termica e la risonanza meccanica, problemi comuni con gli stadi a base metallica, nei processi di produzione di ultraprecisione.

2. Precisione submicronica con guide con cuscinetti ad aria

Le guide lineari integrate con cuscinetti ad aria (invece dei tradizionali cuscinetti a sfere) eliminano l'attrito e l'usura, raggiungendo una precisione di posizionamento ripetibile di ±0,5μm e una risoluzione di 1nm (tramite encoder assoluti Renishaw). Il design senza contatto garantisce un funzionamento esente da manutenzione per oltre 100 milioni di cicli, fondamentale per la produzione ultraprecisa di grandi volumi.

3. Controllo del movimento sincrono dell'asse X-Y

Il controllo del movimento in tempo reale basato su EtherCAT consente la sincronizzazione a livello nanometrico tra gli assi X e Y (errore di sincronizzazione ≤50 nm), supportando profili di movimento complessi (interpolazione circolare, scansione a spirale) richiesti per la microlavorazione laser e la modellazione ottica. L'architettura aperta è compatibile con software di movimento di terze parti (LabVIEW, MATLAB).

4. Elevata rigidità e bassa deformazione

La struttura rinforzata in granito con nervature integrate offre una rigidità ≥ 300 N/μm, riducendo al minimo la deflessione sotto carichi dinamici (fino a 50 kg per asse). Questa stabilità garantisce una precisione costante anche durante l'accelerazione ad alta velocità (1 g), riducendo la variazione del processo e migliorando la resa del prodotto.

5. Personalizzabile per applicazioni di ultra-precisione

Personalizzazione completa della gamma di corsa (da 100×100 mm a 1.000×1.000 mm), risoluzione dell'encoder (da 1 nm a 1 μm), compatibilità con il vuoto (da 10⁻³ a 10⁻⁶ mbar) e finitura superficiale (Ra ≤0,02 μm). Le caratteristiche opzionali includono rivestimento antistatico, materiali compatibili con le camere bianche e interferometria laser integrata per la calibrazione in situ.

6. Affidabilità di livello industriale per l'uso in camere bianche

Il grado di protezione IP67 (standard)/IP68 (versione sotto vuoto), il rivestimento antistatico (10⁶-10⁹ Ω/sq) e la bassa emissione di particelle (conforme alle camere bianche di Classe 1) lo rendono adatto per le fabbriche di semiconduttori e le camere bianche di produzione ottica. MTBF ≥40.000 ore in funzionamento continuo, riducendo il costo totale di proprietà (TCO) del 30% in 5 anni.

Specifiche tecniche

Base in granito (grado 00) Precisione di posizionamento ripetuto ± 0,5 μm Movimento sincrono dell'asse X-Y Stabilità termica (≤ 0,001 mm/℃) Elevata rigidità (≥ 300 N/μm)

Scenari applicativi

I moduli motore lineare in marmo a doppio asse di Deaote sono progettati per la produzione di ultraprecisione nei settori high-tech globali:

● Semiconduttori e microelettronica: confezionamento di chip da 7 nm/5 nm, ispezione di wafer, allineamento litografico, fabbricazione di dispositivi MEMS

● Produzione ottica: lavorazione di componenti micro-ottici (lenti, prismi), assemblaggio di array di fibre ottiche, modellazione laser di substrati di vetro

● Metrologia di precisione: misurazione ottica 3D, stadi di movimento della macchina di misura a coordinate (CMM), profilazione superficiale a livello nanometrico

● Microlavorazione laser: ablazione laser, microforatura, incisione di precisione di materiali duri (silicio, zaffiro, ceramica)

● Aerospaziale e Difesa: produzione di microsensori, calibrazione di componenti di navigazione inerziale, assemblaggio di sistemi ottici satellitari

A proposito di Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. è un'azienda leader nel settore high-tech specializzata in ricerca e sviluppo, produzione e vendita di componenti di movimento ultraprecisi, con particolare attenzione ai moduli di motori lineari a base di granito per i mercati globali dei semiconduttori, dell'ottica e dell'aerospaziale. Con oltre 15 anni di esperienza nella progettazione di stampi di precisione e sistemi di movimento ultraprecisi, serviamo clienti in Europa, Nord America, Giappone e Corea nei settori manifatturieri di fascia alta.

I nostri moduli motore lineare per marmo a doppio asse sono sviluppati nel nostro laboratorio dedicato di ricerca e sviluppo sul movimento ad altissima precisione, sfruttando la lavorazione avanzata del granito (tolleranza di ± 0,001 mm), la calibrazione laser e le tecnologie di assemblaggio di cuscinetti d'aria per ottenere una precisione inferiore al micron. Forniamo servizi di personalizzazione end-to-end, dalla progettazione e prototipazione dei moduli alla calibrazione in loco e al supporto tecnico globale, garantendo che le nostre soluzioni soddisfino i requisiti unici delle linee di produzione ad altissima precisione.

Impegnata nella "Precisione a livello nanometrico, stabilità per tutta la vita", Deaote investe il 20% del fatturato annuo in ricerca e sviluppo per sviluppare soluzioni di movimento ultraprecise di prossima generazione. Il nostro impianto di produzione certificato ISO 9001:2015 e ISO 10110 e la nostra rete di assistenza globale garantiscono tempi di risposta rapidi (≤48 ore) e supporto tecnico locale, rendendoci un partner fidato per i produttori di apparecchiature di altissima precisione di fascia alta in tutto il mondo.